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Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機
瀏覽: 247
單價: 面議
最小起訂量: 1
供貨總量: 10000
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 2 天內(nèi)發(fā)貨
有效期至: 長期有效
最后更新: 2022-03-12 17:50
 
詳細信息
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機  
  • 發(fā)布時間:2017/6/30 17:21:49   修改時間:2017/6/30 17:21:49 瀏覽次數(shù):519
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機
  • Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機



    實現(xiàn)90nm以下分辨力的高性能KrF曝光裝置(FPA-6000ES6a)

    FPA-6000ES6a的設(shè)計理念

    追求高分辨力

    裝有數(shù)值孔徑NA0.86的透鏡

    采用高效率的照明系統(tǒng),用高強度RET照明提高生產(chǎn)效率

    強化像差校正機構(gòu)

    采用已經(jīng)擁有業(yè)績的FPA-6000系列工作臺(platform)確保設(shè)備穩(wěn)定運行

    實現(xiàn)了高精度對位

    進給芯片的溫度穩(wěn)定化對策

    裝置內(nèi)空間氣流控制的最佳化

    對應(yīng)高數(shù)值孔徑(High NA)的調(diào)焦系統(tǒng)

    即使在高數(shù)值孔徑(Hign NA)條件下,仍可確保充分的調(diào)焦寬容度

    采用新的校準(zhǔn)機構(gòu)


    詢價單
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銷售熱線

13928415151

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