Canon-machinery FPA-6000ES6a 步進式光刻機



實現(xiàn)90nm以下分辨力的高性能KrF曝光裝置(FPA-6000ES6a)

FPA-6000ES6a的設(shè)計理念

追求高分辨力

裝有數(shù)值孔徑NA0.86的透鏡

采用高效率的照明系統(tǒng)，用高強度RET照明提高生產(chǎn)效率

強化像差校正機構(gòu)

采用已經(jīng)擁有業(yè)績的FPA－6000系列工作臺(platform)確保設(shè)備穩(wěn)定運行

實現(xiàn)了高精度對位

進給芯片的溫度穩(wěn)定化對策

裝置內(nèi)空間氣流控制的最佳化

對應(yīng)高數(shù)值孔徑(High NA)的調(diào)焦系統(tǒng)

即使在高數(shù)值孔徑(Hign NA)條件下，仍可確保充分的調(diào)焦寬容度

采用新的校準(zhǔn)機構(gòu)