長度、寬度、厚度及允差(±0.20)垂直度(≤0.10%)翹曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)微觀波紋度倒邊C倒邊(0.05mm≤寬度≤0.40mm)R倒邊(0.20mm≤寬度≤1.00mm,曲率半徑≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SiO2阻擋層厚度(350?!?0埃,550nm透過率≥90%)ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能(蝕刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)
ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng),形成其它導(dǎo)電和透過率不佳的反應(yīng)物質(zhì),所以在加工過程中,盡量避免長時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成,晶粒在加溫過程中會裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時(shí)會損耗一定的能量,所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高,電阻也增大。
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